飞卓自主研发的MFC气体质量流量计/控制器，主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制，采用内部补偿型层流压差技术，使得流体在宽流量范围内仍旧保持层流运动。

内置压力传感器和温度传感器，能充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，可根据用户需求快速精确控制目标气体的流量，适用于多种流量测控场合。

工作原理：

基于哈根-泊肃叶定律（Hagen-Poiesuille Law）设计，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。通过读取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。微型计算机将测量值与设定值进行对比，根据差值自动调节阀门开度，直至对比差值趋近于零，实现流量的精准控制。

产品优势：

1、高精度、稳定性强

本公司特有的层流压差传感器，具有高重复性、高线性度，低零点、温度、压力漂移量的特点。配合高精度压力传感器和温度传感器实现的补偿，以及独创核心算法，使得产品精度可达±1%S.P.

2、快速响应

启动时间≤1s，由于压差信号的响应时间取决于压力波的传播速度，可快速响应且响应速度可达毫秒级。

3、多量程多气体

可在40-100种气体种进行切换，适用面广泛。可测量多种混合气体，混合气体比例可调，精准应对各种使用场景。

4、零点漂移

采用独创核心算法，可从根本上抑制产品的零漂、温漂、压漂现象，保证传感器的线性和重复性。